為邏輯晶片和存儲晶片等應用提供高性價比的蝕刻解決方案
上海2021年3月16日 /美通社/ -- 中微半導體設備(上海)股份有限公司(以下簡稱"中微公司" ,上交所股票代碼:688012 )在SEMICON China 2021期間正式發布了新一代電感耦合等離子體(ICP)蝕刻設備Primo Twin-Star® ,用於IC元件前道和後道製程導電/介電質膜的蝕刻應用。
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