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Advanced Energy 的4100T光纖溫度計可確保先進半導體製程的溫度更準確以及更容易控制製程

2021-11-24 11:30


這款4100T多通道、非接觸式光纖溫度計的測量度數更準確,而且讀取率也較快,讓一直領先市場的OR4000T可以輕易換代更新

臺灣 - Media OutReach - 二零二一年十一月二十四日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) 一直致力於開發各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案,這方面的技術更一直領先全球。該公司宣佈推出一款名為Sekidenko 4100T 的高溫計。這款4100T光纖溫度計採用隨插即用的設計,只要輕輕一插便可取代 Advanced Energy 一直領先市場的OR4000T,而且4100T的溫度測量準確度特別高,溫度範圍也較寬廣,加上內建的多條通道可同時進行讀取,讓讀取速度可以提升至最高水平,因此極適用於先進半導體和相連的薄膜應用。




Advanced Energy 關鍵感測技術及控制系統行銷及應用副總裁 Jeff Hebb 表示:「Advanced Energy 的高溫計效能卓越,技術領先同業,一直獲多家頂尖的半導體OEM大廠採用。這款4100T高溫計的許多功能都比原先一直領先同業的 Advanced Energy OR4000T 有進一步的改善,新功能也很多,讓我們的客戶可將製程控制能力和生產力提升至無與倫比的高水平。功能齊備的4100T是一款可輕易取代OR4000T的替代品,讓我們現有的客戶可以輕易為系統換代更新。此外,這款高溫計也可支援EtherCAT、串聯和USB通訊介面。」

 

由於使用4100T的用戶可以同時測量多達4個不同位置的溫度,因此執行多點控制功能所不能缺少的控制箱可以進一步減少,這樣有助於縮小方案大小,也可節省系統成本。此外,每一通道的讀取速度可以高達1kHz,因此熱反應會更快,讓溫度可以更易受控,並確保先進應用的溫度更加一致,相關的應用包括快速熱處理、雷射退火、原子層沉積以及其他先進的沉積技術。

 

這款多通道的光纖溫度計可按照特殊應用發射可配置波長,因此其準確度、可重複性和可靠性都特別高,而且讀取速度也較快,適用於要求極為嚴格的溫度測量工作。傳統的熱藕合和其他接觸式的感測器測量方法有時並不十分適用,例如直接接觸會令晶圓受損,也會產生污垢或因為受到熱轉移效應的影響以致出現測量誤差。4100T光纖溫度計可以無需接觸相關物體而直接在現場測量溫度,準確度在 ±1.5°C 之內。此外,4100T光纖溫度計不但沒有因直接接觸而可能產生的問題,而且對於某些應用來說,例如,正在移動中的晶圓或正以極高溫或較高變溫速度(ramp rate)研磨處理中的晶圓,4100T是個理想的解決方案。

 

有關產品的詳細資料和技術規格,可登入 https://www.advancedenergy.com/products/temperature-measurement/thermal-measurement-optical-pyrometers-power-controllers/semiconductorthin-film-pyrometers/sekidenko-4100t/ 網頁查閱。


Advanced Energy 簡介

Advanced Energy (納斯達克:AEIS) 致力為任務關鍵型應用和製程設備設計並製造先進精密的電源轉換、測量和控制系統解決方案,這方面的技術一直領先世界。AE 一直為客戶提供各種電源解決方案,讓客戶可針對不同工業的各種複雜應用,開發各種創新產品,其中包括半導體工業設備、工業製品、生產設備、電信設備、資料中心運算系統和護理設備。憑借廣泛而深厚的專業積累和觸及全球的快速響應服務網路,AE 力圖通過緊密的合作夥伴關係來滿足技術的快速發展、推動客戶的增長並助力技術的未來。AE 總部位於美國科羅拉多州丹佛市,三十多年來一直致力為全球客戶提供盡善盡美的電源產品。如需進一步查詢相關資料,請登入 www.advancedenergy.com 網頁瀏覽。


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