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荷限制部分DUV出口

2023-07-01 06:35


    荷限制部分DUV出口

    【本報訊】據觀察者網三十日消息:六月三十日晚間,荷蘭光刻機巨頭(阿斯麥公司)ASML在一份聲明中稱,荷蘭政府當天頒佈了有關半導體設備出口管制的新條例。這些新的出口管制條例針對物件為先進的芯片製造技術,包括最先進的沉積設備和浸潤式光刻系統,並非部分媒體報道的所有浸潤式DUV光刻系統。

    ASML表示,根據新出口管制條例規定,該公司需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發運最先進的浸潤式DUV系統(即TWINSCAN NXT:2000i及後續推出的浸潤式光刻系統)。荷蘭政府將決定是否授予或拒發出口許可證,並將向ASML提供許可證所附條件的細節。

    ASML在聲明中重點指出,荷蘭政府新頒佈的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT:2000i及後續推出的浸潤式光刻系統(DUV,深紫外光刻)。而該公司的EUV光刻(極紫外光刻)系統在此前已經受到限制,其他系統的發運暫未受荷蘭政府管控。

    “ASML將繼續遵守適用的出口管制條例,其中包括荷蘭、歐盟及美國的出口管制條例。”

    這家光刻機巨頭稱,荷蘭政府新頒佈的出口管制條例將於二○二三年九月一日生效,在此日期前,ASML可開始提交出口許可證申請,荷蘭政府將視具體情況批准或拒絕這些申請。